Ipari hírek
Otthon / Hír / Ipari hírek / Melyek a kvarctégelyek alapvető előnyei a kerámia vagy grafittégelyekhez képest?
Vegye fel a kapcsolatot

Ha segítségre van szüksége, forduljon hozzánk bizalommal

Melyek a kvarctégelyek alapvető előnyei a kerámia vagy grafittégelyekhez képest?


Kvarc tégely egy speciális, magas hőmérsékletnek ellenálló, nagy tisztaságú szilícium-dioxidból készült tartály, mely pótolhatatlan szerepet játszik a magas hőmérsékletű olvasztásban, a kristálynövekedésben és az anyagtisztításban. A modern ipar fontos funkcionális fogyóeszközeként a kvarctégely egyedülálló fizikai és kémiai tulajdonságaival kulcsszerepet játszik a fotovoltaikus, félvezető-, optikai üveg- és más iparágakban.

1. A kvarctégely alapvető jellemzői

Anyag jellemzői
A kvarctégely fő nyersanyaga nagy tisztaságú szilícium-dioxid. Tisztasága kulcsfontosságú mutató a kvarctégely minőségének és teljesítményének mérésére, és döntően befolyásolja a tégely stabilitását, kémiai tehetetlenségét és élettartamát magas hőmérsékletű környezetben.

A szokásos ipari területeken, mint például az üveggyártás, a kerámiaégetés és más iparágak, a kvarctégelyek tisztasági követelményei viszonylag lazák, de általában el kell érniük a 99,9%-ot. Az ilyen tisztaságú kvarctégelyek megfelelnek az általános ipari gyártási folyamatokban a magas hőmérsékletű tartályokkal szemben támasztott alapvető követelményeknek, például ellenállnak bizonyos magas hőmérsékletnek és ellenállnak a szokásos vegyszerek eróziójának.

Ezekben az alkalmazási forgatókönyvekben a kvarctégelyeket főként olvadt üvegnyersanyagok, kerámia iszapok és egyéb anyagok tárolására használják. Tisztaságuk biztosíthatja, hogy viszonylag alacsony hőmérsékleten és rövid melegítési idők mellett a szennyeződések jelenléte miatt ne legyen jelentős káros hatás a termék minőségére.

Azonban a csúcstechnológiás területeken, mint például a félvezetők és a fotovoltaik, a kvarctégelyekkel szemben támasztott tisztasági követelmények már-már szigorú szintet értek el. A szilícium-dioxid tisztasága ultra-nagy tisztaságú kvarctégelyek rendkívül magas, és a szennyezőanyag-tartalmat szigorúan ellenőrizni kell ppm (parts per million) szinten. Ennek az az oka, hogy a félvezető- és a fotovoltaikus iparban a feldolgozott anyagok rendkívül érzékenyek a szennyeződésekre. Még a nyomokban lévő szennyeződések is komoly problémákat okozhatnak, például kristályhibákat és elektromos teljesítményromlást, ezáltal befolyásolva a végtermék teljesítményét és hozamát.

Például az egykristályos szilícium növekedése során a kvarctégelyt szilíciumanyagok tartályaként használják. A benne lévő szennyeződések bediffundálhatnak a szilíciumkristályba, befolyásolva a szilíciumkristály tisztaságát és elektromos tulajdonságait, ezáltal befolyásolva a napelemek konverziós hatékonyságát és a félvezető eszközök teljesítményét. Ezért e high-end iparágak igényeinek kielégítése érdekében az ultranagy tisztaságú kvarctégelyeket szigorúan ellenőrzik a nyersanyag kiválasztása, a gyártási folyamat ellenőrzése és a minőségellenőrzés tekintetében, hogy tisztaságuk elérje a rendkívül magas szabványokat.

Fizikai forma
Kvarc tégelys átlátszó vagy áttetsző megjelenésű, és ez az egyedülálló optikai tulajdonság szorosan összefügg a belső mikroszerkezetével. A nagy tisztaságú kvarctégelyek általában nagy átlátszósággal rendelkeznek, mivel nagyon kevés belső szennyeződést és viszonylag teljes kristályszerkezetet tartalmaznak, valamint a fény kevésbé szóródik és nyelődik el, amikor a belsejében terjed.

Ez a nagy átlátszóságú kvarctégely nemcsak megjelenésében gyönyörű, hanem tiszta látómezőt is biztosíthat bizonyos kísérleteknél és gyártásoknál, ahol az olvadt anyagok állapotának vagy a reakciófolyamatoknak a megfigyelését igénylik, ami a kezelők számára kényelmes, hogy valós időben figyeljen.

Ellenkezőleg, ha a kvarctégely nyomokban buborékokat vagy egyéb szennyeződéseket tartalmaz, a fény terjedése során több szóródási felülettel találkozik, ami a fény szétszóródását és visszaverődését okozza, ami áttetszővé vagy átlátszatlanná teszi a tégelyt. A buborékok jelenléte nemcsak a tégely átlátszóságát befolyásolja, hanem kedvezőtlenül befolyásolhatja a tégely szilárdságát és stabilitását magas hőmérsékleten. Például a magas hőmérsékletű hevítés során a buborékok kitágulhatnak vagy felrobbanhatnak, repedéseket vagy sérüléseket okozva a tégely felületén, ami befolyásolja annak élettartamát és biztonságát.

Felületkezelés
A modern kvarctégelyeket gyakran speciális bevonattal kezelik a belső falon. A legelterjedtebb bevonóanyag a szilícium-nitrid, amely hatékonyan megakadályozza, hogy az olvadt anyag hozzátapadjon a tégely belső falához, és bizonyos mértékig meghosszabbíthatja a tégely élettartamát. A bevonat egyenletessége és tapadása fontos mutatói a tégely minőségének.

2. A kvarctégelyek teljesítménybeli előnyei

Kiváló hőállóság
Kvarc tégelys kiválóan teljesít magas hőmérsékletű munkakörnyezetben. Egyedülálló szilícium-dioxid molekuláris szerkezete kiváló magas hőmérsékleti stabilitást biztosít, és képes megőrizni szerkezeti integritását folyamatos magas hőmérsékleti körülmények között. Ez a hőállóság a kvarcanyagok speciális szilícium-oxigén kötési módjának köszönhető, amely magas kötési energiával és stabil szerkezettel rendelkezik.

A gyakorlati alkalmazásokban a kvarctégelyek hosszú ideig bírják a fémolvadáshoz vagy a kristálynövekedéshez szükséges magas hőmérsékletű környezetet lágyulás és deformáció nélkül, ami lényegesen jobb, mint a hagyományos kerámiatermékek. Érdemes megjegyezni, hogy a kvarctégely magas hőmérsékleti stabilitása nem csak a statikus hőmérséklet-ellenállásban, hanem a dinamikus hőmérsékletváltozási folyamatban is megmutatkozik. Jó mechanikai tulajdonságokat képes megőrizni, amit sok más anyag esetében nehéz elérni.

Kiváló kémiai stabilitás
A kvarctégely kémiai tehetetlensége rendkívül kiemelkedő. Általános olvasztási környezetben kiváló korrózióállóságot mutat a legtöbb vegyszerrel szemben. Különösen savas közegben, kvarctégelyek alig reagál a szokásos szervetlen savakkal, ami biztosítja az olvasztási folyamat tisztaságát. Természetesen meg kell jegyezni, hogy a kvarc anyagok érzékenyebbek néhány erős savra, mint például a hidrogén-fluoridra és a forró foszforsavra, és erősen lúgos környezetben is könnyen korrodálódnak.

Ez a szelektív kémiai stabilitás a kvarctégelyeket pótolhatatlan választássá teszi olyan területeken, mint a félvezetők és a fotovoltaik, amelyek rendkívül nagy tisztaságot igényelnek. A tényleges használat során ez a kémiai tehetetlenség nemcsak a folyamat stabilitását biztosítja, hanem elkerüli az olvadékszennyeződés kockázatát is.

Jó termikus tulajdonságok
A kvarc anyagok termikus fizikai tulajdonságai meglehetősen egyediek. Hőtágulási együtthatója rendkívül alacsony, ami azt jelenti, hogy a kvarctégely mérete nagyon keveset változik a hőmérséklet-emelkedés és -csökkenés során. Ez a tulajdonság két jelentős előnnyel jár: először is jó méretstabilitást képes fenntartani a hőmérséklet-ciklus során; másodszor, csökkenti a termikus igénybevétel okozta szerkezeti károsodások kockázatát.

Bár a kvarctégelyek bizonyos mértékben ellenállnak a hősokknak, a felhasználóknak továbbra is óvatosnak kell lenniük, hogy elkerüljék a drasztikus hőmérséklet-változásokat, mert a gyors hősokk még mindig mikrorepedéseket okozhat. Valójában javasolt egy fokozatos fűtési és hűtési program alkalmazása, amellyel maximalizálható a kvarctégelyek hőteljesítmény-előnye, és meghosszabbítható az élettartamuk.

Tisztasági garancia
A nagy tisztaság a kvarctégelyek egyik legbüszkébb tulajdonsága. A fejlett tisztítási eljárásokkal gyártott kvarctégelyek rendkívül alacsony szennyeződést tartalmazhatnak. Ez a tisztasági előny fontos olyan eljárásoknál, mint például a félvezető egykristály növesztése, amelyek rendkívül nagy anyagtisztaságot igényelnek.

A kvarctégelyek tisztasági garanciája elsősorban három vonatkozásban tükröződik: először is, a nyersanyagokat szigorúan szitálják és tisztítják; másodszor, a gyártási folyamat tiszta környezetben történik; és végül a készterméket többszörös tisztasági vizsgálatnak vetik alá. Ez az átfogó minőség-ellenőrzés biztosítja, hogy a kvarctégely ne váljon szennyeződés forrásává a használat során.

A különböző felhasználási területek tisztasági követelményei is eltérőek. A csúcskategóriás félvezető alkalmazások általában a legmagasabb tisztaságú kvarctégelyeket igényelnek, míg egyes ipari alkalmazások megfelelően enyhíthetik a szabványokat.

A teljesítmény előnyei Leírás
Kiváló hőállóság Kvarc tégelys perform well in high-temperature working environments, and their unique silicon dioxide molecular structure gives them excellent high-temperature stability. They can maintain structural integrity under continuous high-temperature conditions and maintain good mechanical properties during dynamic temperature changes.
Kiváló kémiai stabilitás Kvarc tégelys are extremely chemically inert and show excellent corrosion resistance to most chemicals in common smelting environments, especially in acidic media, where they hardly react with inorganic acids. However, they are more sensitive to a few strong acids such as hydrofluoric acid and hot phosphoric acid.
Jó termikus tulajdonságok A kvarcanyag hőtágulási együtthatója rendkívül alacsony, ami miatt a mérete nagyon csekély mértékben változik a fűtési és hűtési folyamat során, jó a méretstabilitása és a hőterheléssel szembeni ellenállása. A drasztikus hőmérsékletváltozásokat azonban kerülni kell, hogy elkerüljük a mikrorepedések kialakulását.
Tisztasági garanciad Kvarc tégelys manufactured using advanced purification processes have extremely low impurity content and are suitable for processes such as semiconductor single crystal growth that require extremely high material purity. Its purity advantage is reflected in the selection of raw materials, clean environment manufacturing, and multiple testing.

3. A gyártási folyamat áttekintése

A gyártása kvarctégelyek egy precíz és összetett folyamat, amely több kulcsfontosságú folyamatlinket foglal magában. Az első a nyersanyag-előkészítés szakasza. A jó minőségű kvarctégelyek gyártását szigorú alapanyag-szűrővizsgálattal kell kezdeni. A kiváló minőségű kvarcércnek több fizikai szűrési folyamaton kell keresztülmennie, például részecskeméret osztályozáson, mágneses elválasztáson és vaseltávolításon, valamint flotációs tisztításon.

Ezután mély kémiai tisztítást végeznek, beleértve a savas mosási folyamatot, a magas hőmérsékletű klórozást és az ultratiszta vizes tisztítást, hogy az alapanyagok tisztasága elérje a 99,99%-ot. A tisztított nyersanyagoknak több minőség-ellenőrzési eljáráson kell átmenniük, mint például az ICP-MS detektáláson, a lézeres részecskeméret-elemzésen és a nedvességtartalom-vizsgálaton, hogy megalapozzák a későbbi feldolgozást.

Az olvasztó öntés a gyártási folyamat központi láncszeme. Jelenleg a két fő folyamat az ívmódszer és az olvasztási módszer. Az ívmódszeres gyártás nagyvákuumú környezetben, nagy tisztaságú grafitelektróda rendszerrel történik, és az ívenergia precíz szabályozásával megolvasztják a kvarchomokot, majd a számítógéppel vezérelt centrifugális rendszert alkalmazzák az egyenletes formázás eléréséhez.

Ez a folyamat a hőmérsékletmező eloszlásának valós idejű monitorozását igényli az olvadt állapot stabilitásának biztosítása érdekében. Az olvasztási módszer egy speciális, több hőmérsékletű zónaszabályozású kemencét használ, védőatmoszférában olvad, nagy pontosságú grafitformát használ a formázáshoz, végül gradiens hűtésű izzítási eljárással megszünteti a belső feszültséget. A két eljárásnak megvannak a maga előnyei, és alkalmasak különböző specifikációjú és felhasználású tégelyek előállítására.

A megformált tégely nyersdarabnak egy sor precíziós megmunkáláson és felületkezelésen kell keresztülmennie. A megmunkálás magában foglalja a CNC precíziós vágást, a belső felület polírozását és az élkezelést a méretpontosság és a felületminőség biztosítása érdekében. A felületbevonat technológia különösen kritikus, és olyan fejlett eljárásokat alkalmaznak, mint a plazmapermetezés vagy a CVD kémiai gőzleválasztás, hogy egységes és sűrű szilícium-nitrid védőréteget képezzenek a tégely belső falán.

Speciális eljárások, például ultrahangos tisztítás, felületaktiváló kezelés és antisztatikus kezelés szükséges a termék teljesítményének további javításához. Ezek a finom feldolgozási lépések közvetlenül kapcsolódnak a tégely élettartamához és folyamatstabilitásához.

A termékminőség biztosítása érdekében teljes körű minőségellenőrzési rendszert alakítottak ki. A méretérzékelés olyan technológiákat használ, mint a háromdimenziós lézerszkennelés, a nagy pontosságú kerekség-teszt és az ultrahangos vastagságmérés a teljes méretű digitális vezérlés elérése érdekében.

A teljesítménytesztek közé tartoznak a magas hőmérsékleten végzett deformációs tesztek, a hősokk-tesztek és a tisztasági elemzés, amelyek szimulálják a tényleges használati feltételeket a termék megbízhatóságának igazolására. A roncsolásmentes tesztelési link olyan technológiákat használ, mint a röntgensugaras hibaészlelés, az ultrahangos tesztelés és az optikai automatikus válogatás annak biztosítására, hogy a terméken ne legyenek belső hibák. Minden tesztelési link szigorú minőségi szabványokkal rendelkezik, és a minősíthetetlen termékeket azonnal elkülönítik és feldolgozzák.

4. Fő alkalmazási területek

Fotovoltaikus ipari alkalmazás:
A fotovoltaikus ipari láncban a kvarctégelyek kulcsszerepet játszanak, különösen az egykristályos szilícium növekedésében. Ha a Czochralski-módszert egykristályos szilícium előállítására használják, a kvarctégelynek, mint olvadt szilíciumtartálynak, ki kell bírnia a magas, 1600 °C-nál magasabb hőmérsékletű környezetet. A fotovoltaikus minőségű kvarctégelyek sajátossága, hogy: először is, belső falát általában szilícium-nitrid bevonattal kell bevonni, ami megakadályozhatja, hogy a szilíciumolvadék a tégely falához tapadjon, és hatékonyan szabályozza az oxigéntartalom behatolását; másodszor, az egykristályos szilícium növesztésének extrém tisztasági követelményei miatt az olvasztótégelynek ultranagy tisztaságú kvarchomokból kell készülnie, és a fémszennyeződés tartalmát ppb szinten kell szabályozni.

Érdemes megjegyezni, hogy folyamatos, magas hőmérsékletű munkakörülmények között a kvarctégely fokozatosan kikristályosodik és kvarcfázisot képez, ami jelentősen csökkenti a tégely mechanikai szilárdságát. Ezért a fotovoltaikus tégelyeket általában eldobható termékeknek tervezik, és minden egyes egykristályos szilícium-tenyésztő kemencéhez új tégelyt kell cserélni.

Félvezető gyártási alkalmazások:
A félvezetőipar szigorúbb műszaki követelményeket támasztott a kvarctégelyekkel szemben. Az integrált áramkörökbe szánt szilícium egykristályok előállítása során a kvarctégelyeknek nemcsak rendkívül nagy tisztaságot kell biztosítaniuk, hanem kiváló termikus stabilitással és méretpontossággal is kell rendelkezniük.

A félvezető minőségű olvasztótégelyek sajátosságai a következők: először is, az íves eljárással történő előkészítést ultranagy tisztaságú argon védelme mellett kell elvégezni, hogy elkerüljük az esetleges szennyeződéseket; másodszor, a belső felületkezelési folyamat kifinomultabb, és a bevonat vastagságát mikron pontossággal kell szabályozni; harmadszor, szigorú követelmények vonatkoznak a tégely hőtörténetére, és biztosítani kell, hogy magas hőmérsékleten ne szabaduljanak fel illékony anyagok.

A félvezető eszközök méretének folyamatos csökkenésével a kvarctégelyekkel szemben támasztott minőségi követelmények tovább nőnek, különösen a mikrohibák csökkentésében és az oxigéntartalom szabályozásában. Új kihívások elé állítottak.

Speciális anyag-előkészítés alkalmazása:
A speciális anyagok terén kvarctégelyek egyedi alkalmazási érték megjelenítése. A nemesfém-olvasztásnál, például a platinacsoportba tartozó fémek tisztításánál a kvarctégelyek kémiai tehetetlensége biztosíthatja, hogy a fémek ne szennyeződjenek; speciális üvegek, például optikai üveg és lézerüveg gyártásánál a kvarctégelyek nagy tisztasága biztosítja az üveg fényáteresztő képességét; a lézerkristályok, például a YAG, a zafír és más kristályok növekedési folyamatában a kvarctégelyek stabil olvadási környezetet biztosíthatnak.

Ezen alkalmazások speciális követelményei a tégelyekkel szemben a következők: meghatározott geometriai alakzatok tervezése különböző olvadási jellemzőkre; speciális bevonatok fejlesztése az interfész jellemzőinek javítására; és a termikus téreloszlás optimalizálása a folyamatkövetelményeknek megfelelően. Egyes különleges esetekben átlátszó kvarctégelyekre is szükség van az olvadási folyamat megfigyeléséhez.

Tudományos kutatási kísérletek alkalmazása:
Az anyagtudományi kutatások területén a kvarctégelyek nélkülözhetetlen kísérleti eszközök. A laboratóriumi tégelyek jellemzői: különböző specifikációk, néhány millilitertől több literig terjednek; finom kialakítás, némelyik speciális szerkezetű fedéllel és szellőzőnyílással felszerelt; szigorú tisztasági követelmények, különösen nanoanyag-szintézis esetén.

A tudományos kutatási minőségű tégelyek különleges értéke a következőkben rejlik: egyrészt, új anyagok kutatása és fejlesztése során meg tudnak felelni a speciális környezetvédelmi követelményeknek, mint például az ultranagy vákuum vagy a speciális atmoszféra; másodszor, ellenállnak bizonyos szélsőséges kísérleti körülményeknek, például gyors hőmérséklet-emelkedésnek és -csökkenésnek vagy erős korrozív környezetnek; harmadszor, egyes kutatótégelyek speciális funkciókat is integrálnak, mint például a hőmérsékletmérés és a megfigyelés.

Az anyagtudomány fejlődésével a tudományos kutatású kvarctégelyek a funkcionalizálás és az intelligencia irányába fejlődnek, ilyen például a katalitikus funkcióval rendelkező kompozit tégelyek, vagy az integrált érzékelőkkel ellátott okostégelyek fejlesztése.

Alkalmazások a feltörekvő területeken:
A hagyományos alkalmazások mellett a kvarctégelyek a feltörekvő technológiák területén is széles kilátásokat mutatnak. A harmadik generációs félvezető anyagok előállítása során a kvarctégelyeknek alkalmazkodniuk kell a magasabb növekedési hőmérsékletekhez; a lítium-ion akkumulátor pozitív elektródák anyagának szinterezési folyamatában a kvarctégelyek stabilitása javíthatja az anyag tulajdonságait; új fotovoltaikus perovszkit anyagok kutatása és fejlesztése során a kvarctégelyek ideális reakciókörnyezetet biztosítanak.

Ezek a feltörekvő alkalmazások új követelményeket támasztanak a kvarctégelyekkel szemben, ideértve a magasabb hőmérsékletű termékek fejlesztését, a stabilitás javítását meghatározott kémiai környezetben, valamint bonyolultabb szerkezeti formák tervezését. A jövőben az új anyagtechnológia áttörésével a kvarctégelyek alkalmazási köre tovább bővül.

5. A kvarctégely és a kerámia vagy grafittégely közötti különbség
A kémiai stabilitás előnye:
A kémiai tehetetlensége kvarctégely kiváló, ami elsősorban stabil SiO2 tetraéderes kristályszerkezetének köszönhető. Magas hőmérsékletű olvadási környezetben a kvarcanyag alig reagál a legtöbb fémolvadékkal, beleértve az aktív fémeket, például a szilíciumot és az alumíniumot. Ez a tulajdonság különösen fontos a félvezetőgyártásban, mert még a szennyeződés rész per milliárd szinten is jelentős csökkenést okozhat a chip teljesítményében.

Ehhez képest az alumínium-oxid kerámiatégelyek bizonyos átmeneti fémekkel reagálnak magas hőmérsékleten, míg a grafittégelyek elkerülhetetlenül szénszennyeződéseket juttatnak az olvadékba. Érdemes megjegyezni, hogy a kvarctégelyek különösen ellenállnak a szervetlen savaknak, és ellenállnak a legtöbb erős sav korróziójának, kivéve a hidrogén-fluoridot és a forró foszforsavat. Erősen lúgos környezetben azonban, különösen magas hőmérsékleti viszonyok között, a kvarc fokozatosan erodálódik, ami használatánál különös figyelmet igényel.

Alkalmazhatóság magas hőmérsékletű környezethez:
A kvarctégelyek stabilitása magas hőmérsékletű oxidáló atmoszférában jelentős előnye. Levegős környezetben a lágyuláspontjához közeli hőmérsékleten hosszú ideig stabilan tud működni, miközben a grafittégely ilyen körülmények között gyorsan oxidálódik és veszít. A kísérleti adatok azt mutatják, hogy azonos feltételek mellett a kvarctégely élettartama a grafittégelyének 5-10-szeresét is elérheti.

Bár egyes speciális kerámiák, például a cirkónium-oxid is ellenállnak a magas hőmérsékletnek, gyakran vannak fázisváltozási problémák, ami csökkenti a hőstabilitást. A kvarctégely nemcsak stabil formát tud megtartani magas hőmérsékleten, hanem mechanikai szilárdsága is lassan bomlik, így különösen alkalmas hosszú távú, magas hőmérsékletű folyamatokra. Vákuumos környezetben a kvarctégely teljesítménye még jobb, illékony szennyezés szinte egyáltalán nem keletkezik.

Hőteljesítmény jellemzői:
A kvarc anyagok hőfizikai tulajdonságai egyedülállóak. Hőtágulási együtthatója csak körülbelül 1/10-e a közönséges kerámiáénak, ami miatt szinte észrevehetetlen a méretváltozás a hőmérséklet változásával. Ez a funkció két fontos előnnyel jár: először is a hőmérsékleti ciklus során a kvarctégely nem könnyű termikus igénybevételű repedéseket létrehozni; másodszor, jobb a termikus illeszkedés a tartóberendezéssel. Ennek ellenére továbbra is el kell kerülni a 300 ℃/perc feletti gyors hőmérséklet-változásokat, hogy elkerüljük a hősokk okozta károkat.

Ezzel szemben a közönséges kerámiák nagyobb hőtágulási együtthatójuk miatt hajlamosabbak a mikrorepedésekre a hőciklusok során. Bár a grafit anyagok jó hővezető képességgel rendelkeznek, anizotrop hőtágulási jellemzőik gyakran szerkezeti deformációhoz vezetnek, ami befolyásolja a felhasználás pontosságát.

Tisztaságbiztosítás:
Az ultra-nagy tisztaságú alkalmazások területén a tisztaság előnye kvarctégelyek pótolhatatlan. A modern tisztítási eljárásokkal előállított, nagy tisztaságú kvarchomok összes szennyezőanyag-tartalma 1 ppm alá szabályozható. Ez a tisztasági szint kritikus a félvezető egykristály növekedéséhez, mivel bármilyen idegen szennyeződés kristályhibák forrásává válhat.

Ezzel szemben még a legnagyobb tisztaságú kerámia tégelyeknél is nehéz elkerülni a szennyeződések nyomelemeinek migrációját, míg a grafittégelyeknél mindig fennáll a szénszennyeződés veszélye. A tényleges gyártás során a félvezető minőségű kvarctégelyeket speciális felületkezeléseken is át kell vetni, például magas hőmérsékletű égetési és gáztalanítási eljárásokat, hogy tovább csökkentsék a felületi szennyeződés kockázatát. Ez a szigorú tisztasági ellenőrzés az alapja a készülék teljesítményének biztosításának.

Optikai tulajdonságok:
Az átlátszó kvarctégelyek optikai tulajdonságai egyedülálló alkalmazási előnyöket biztosítanak számára. Az ultraibolya-közeli infravörös sávban a nagy tisztaságú kvarc áteresztőképessége meghaladja a 90%-ot, ami lehetővé teszi a kezelő számára, hogy közvetlenül megfigyelje az olvasztási folyamat valós idejű állapotát. Ez a vizualizációs funkció rendkívül fontos a folyamatfejlesztés és a folyamatirányítás szempontjából. Például az egykristályos szilícium növekedése során a szilárd-folyadék határfelület morfológiája intuitív módon megfigyelhető.

Ezzel szemben a kerámia- és grafittégelyek teljesen átlátszatlanok, és csak közvetett módon ellenőrizhetők. A modern fejlett gyártás megfigyelőablakkal ellátott kvarctégelyeket is kifejlesztett a speciális eljárások megfigyelési igényeinek kielégítésére. Érdemes megjegyezni, hogy az átlátszó kvarc magas hőmérsékleten fokozatosan elveszíti átlátszóságát, amit a kristályosodás okoz, de ez általában nem befolyásolja alapvető funkcióit.

Felületi jellemzők:
A speciálisan kezelt kvarctégely A felület kiváló teljesítményt nyújt. Az olyan technológiák révén, mint a plazmafokozott kémiai gőzleválasztás, nanoméretű szilícium-nitrid bevonat alakítható ki a tégely belső felületén. Ez a bevonat nemcsak az olvadék tapadását képes hatékonyan megakadályozni, hanem a kvarc olvadékba való feloldódását is.

A kísérletek azt mutatják, hogy az optimalizált bevonat több mint 30%-kal meghosszabbíthatja a tégely élettartamát. Ezzel szemben a kerámia tégelyek felületmódosítása nehezebb, míg a grafittégelyek komplex antioxidáns kezelést igényelnek. A modern felületmérnöki technológia a gradiens átmeneti réteg technológiát is kifejlesztette, amely nagymértékben javítja a bevonat és az aljzat közötti kötési szilárdságot, tovább javítva a teljesítményt. Ezek a felületkezelési technológiák jelentik a legfontosabb garanciát arra, hogy a kvarctégely kemény körülmények között is stabilan működjön.

Teljesítmény kategória Kvarc tégely Kerámia tégelyek Grafittégely
Kémiai stabilitás Kémiailag rendkívül közömbös, stabil SiO₂ tetraéderes szerkezetű, amely alig reagál a legtöbb fémolvadékkal, ami különösen fontos a félvezetőgyártásban. Erősen ellenáll a szervetlen savaknak (kivéve a hidrogén-fluoridot és a forró foszforsavat). Erős lúgos környezetben azonban könnyen korrodálódik. Magas hőmérsékleten reakcióba léphet bizonyos átmeneti fémekkel, és további bélést igényel a korrózió megakadályozása érdekében. Szennyeződéseket visz be az olvadékba, ami befolyásolja a tisztaságot.
Alkalmazkodóképesség magas hőmérsékletű környezethez Magas hőmérsékletű oxidáló atmoszférában jó stabilitású, élettartama a grafittégelyének 5-10-szeresét is elérheti. Vákuumos környezetben szinte nincs illékony szennyeződés. Könnyen lágyítható és deformálható magas hőmérsékleten, gyenge hőstabilitás. Gyorsan oxidálódik és veszít magas hőmérsékletű oxidáló atmoszférában.
Termikus tulajdonságok Alacsony hőtágulási együtthatója (körülbelül a közönséges kerámiák 1/10-e), kis méretváltozásokkal rendelkezik, és csekély a hőterhelési repedések kockázata. A gyors hőmérséklet-változásokat (>300 ℃/perc) azonban kerülni kell. A hőtágulási együttható nagy, és a hőciklusok során könnyen keletkeznek mikrorepedések. Jó hővezető képesség, de az anizotróp hőtágulás szerkezeti deformációt okozhat.
Tisztasági garancia A szennyezőanyag-tartalom 1 ppm alá szabályozható, ami ultra-nagy tisztaságú alkalmazásokhoz, például félvezető egykristály növesztéshez alkalmas. Nehéz elérni a kvarctégelyek tisztasági szintjét, és nyomokban előfordulhat szennyeződésvándorlás. Szénszennyeződés veszélye, nem alkalmas rendkívül magas tisztasági követelményeket támasztó eljárásokhoz.
Optikai tulajdonságok Az átlátszó kvarctégely áteresztőképessége >90% az ultraibolya-közeli infravörös sávban, ami kényelmes az olvadási folyamat megfigyeléséhez. Teljesen átlátszatlan, közvetlenül nem figyelhető meg. Teljesen átlátszatlan, közvetlenül nem figyelhető meg.